Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
Общий рейтинг и отзывы
5
5 из 7 (71%) Покупателей рекомендуют этот товар
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
.Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
Отличная книга, содержит много интересного материала. Помогает лувчше понять процессе и оборудование микротехнологии
Рекомендует к покупке: Да
Срок использования: Месяц
Плюсы: Интересный материал