В книге представлены систематизированные результаты детального анализа современного состояния и перспектив развития одного из наиболее стремительного развивающихся на стыке микромеханики и микроэлектроники научно-технических направлений – микроэлектромеханических систем (МЭМС).Книга ориентирована на достаточно широкую аудиторию – от студентов, аспирантов и преподавателей технических ВУЗов, специализирующихся в области микроэлектроники, до инженеров-разработчиков микросхем и электронных систем на их основе, инженеров-технологов серийных производств, сотрудников отраслевых исследовательских лабораторий и академических институтов, специалистов радиоэлектронной, автомобильной и космической техники.В семнадцати тематических главах последовательно, на конкретных примерах рассмотрены все основные этапы создания МЭМС, начиная от анализа типовых конструкций классических датчиков и гироскопов, особенностей реализации этих конструкций в виде МЭМС-устройств, основных технологических процессов изготовления МЭМС, методов и технологий корпусирования МЭМС-устройств, инструментов моделирования и проектирования, и заканчивая стандартами, видами и методами испытаний МЭМС-устройств.Подробно, в объеме отдельных глав, рассмотрены особенности технологии и конструкции оптических МЭМС (ОМЭМС), наноэлектромеханических систем (НЭМС), а также основные сферы применения МЭМС – в автомобилестроении (противоугонные и навигационные системы, системы безопасности, датчики давления в шинах, датчики электронных систем управления двигателей, обеспечение курсовой устойчивости, управления тормозами и т.д.), биомедицинские приложения МЭМС (био-МЭМС, применения в хирургии, офтальмологии, имплантируемые датчики, для обработки внутрисердечных сигналов, для систем электроэнцефалограмм, в томографии, микрофлюидные кристаллы и др.), а также СВЧ-приложения.Завершает книгу глава, посвященная бесплатформенным инерциальным навигационным системам ориентации и навигации на основе МЭМС-датчиков (принципы построения, методы калибровки инерциальных чувствительных элементов, информационно-управляющие системы вращающихся по крену летательных аппаратов).
